スケーリング（ Scaling ）とは図形などの拡大縮小という意味で、半導体以外でもスケーリング則というものはありますが、半導体の場合は、 MOS トランジスタを縮小するときの指針を示し、その指針通りに縮小した時に MOS トランジスタの特性や回路の性能がどうなるかを理論的に示したものです。 大きさを小さくしたのに印加する電圧をそのままにしておくと、デバイスがうまく動作しなかったり壊れたりしてしまうので、印加する電圧も同じ割合で小さくします。 そうすると「素子の集積度は上がるが素子の消費電力は小さくなるので、チップ面積が同じなら消費電力は増加せず、しかしデジタル回路のスピードは速くなる」というデジタル回路にとっては理想的な結果になります。

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WebLSIを構成するシリコン極微細CMOSトランジスタの性能向上と低消費電力化は，スケーリング則に基づくトランジスタ寸法の微細化によって達成されてきたが，微細化の一番のネックがゲート絶縁膜の薄膜化である。 従来はSiO 2 や SiONなどの薄膜がゲート絶縁膜として用いられてきたが，既にその膜厚が1.2nmに達し，直接トンネル現象によるゲート … http://meroli.web.cern.ch/lecture_scaled_CMOS_Technology.html robin morningwood full game

究極の薄さの窒化シリコン膜の形成に成功 - AIST

http://lalsie.ist.hokudai.ac.jp/publication/dlcenter.php?fn=dom_conf/cas_karuizawa_2006_hirose.pdf WebこれまでCMOS LSIの消費電力は, スケーリング 則とそれに伴う電源電圧の低減によって削減されて きた[1]. しかし, MOSFETの強反転領域動作を前提 とした現行のシステム設計手法では, 回路システムの 消費電力を格段に削減することは困難である. ここ では, 消費電力が数µW 以下のスマートセンサLSI を実現するために, MOSFETをサブスレッショルド 領 … http://www.ssc.pe.titech.ac.jp/lectures/icNiigata/Niigata_IC_03_0905.ppt robin morningwood itch io